近日，2023年“科创江苏”创新创业大赛装备制造领域总决赛在徐州举行。来自全省各地的高校、科研机构、高新企业的29组选手现场交锋，经过激烈角逐，由苏州晟成光伏设备有限公司杨星博士带来的项目——空间型原子层沉积量产工艺及装备开发，荣获装备制造创业组一等奖。
本届“科创江苏”创新创业大赛以“科技自立自强，双创驱动发展”为主题。大赛自创办以来，坚持以赛促创，持续推动大赛成果转化应用，推动优质项目孵化落地，实现项目与地方产业的协同对接，逐步打造成为全链条双创服务平台，为江苏经济社会高质量发展注入新动能。
晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及装备开发项目基于空间式SALD的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层SnO2膜层以及封装阻水层Al2O3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试，优势资源整合，基础研究与产业化应用研究优势互补，开发了大产能大幅宽空间原子沉积薄膜的量产设备及工艺。
原子层沉积技术在光伏、半导体领域均有着广阔的应用前景与良好的经济效益。当前，ALD设备国产化市场占有量仅为2%，在这一背景下，位于苏州市高新区枫桥街道的苏州晟成光伏设备有限公司积极响应国家创新发展战略，致力于提高国内ALD设备的研发水平和生产能力，以满足不断增长的市场需求。未来，晟成光伏将在技术创新的道路上继续努力前行，为更清洁、可持续的能源转型贡献更多创新和力量。
（苏报融媒记者 刘晓平 顾玲 通讯员 枫萱 文/摄）
编辑 赵晨民
